【新年重点工程巡礼】徐州：半导体产业再添“芯”引擎 总投资60亿年产芯片200亿颗

全省2020年重大产业项目近日集中开工。在徐州经济技术开发区内，天和通讯(徐州)第三代半导体产业基地项目也迈出了决定意义的一步。记者了解到，该项目总投资达到60亿元，建筑面积42万平方米，主要从事第三代半导体硅基氮化镓高性能芯片和器件的全产业链生产。项目全面达产后，可年产33密耳、55密耳、70密耳芯片200亿颗及各类5G芯片共约10亿颗。

天和通讯•众拓光电第三代半导体（徐州）产业基地项目规划建设共分为两个部分，第一部分首先利用现有厂房改造（建筑面积约13万平方米，洁净车间8万平方米），新上自主发明的一系列颠覆性外延生长及芯片制造装备（如低温氮化物生长重大装置、超平坦氮化物修膜设备、双面曝光机、晶圆级键合机等）、当前业界效率最高的大腔MOCVD生长设备和先进的智能化制造管理系统，建设大功率硅基氮化镓LED芯片、大功率LED生产线，采用成本更低、导热性更好且具有核心自主知识产权的硅材料替代蓝宝石制作LED芯片。预计到2025年，实现大功率LED芯片生产规模全球第二位。

第二部分为新建厂房面积约29万平方米，其中洁净车间16万平方米，主要进行5G高频滤波芯片、5G射频微波芯片、射频功率芯片及汽车照明大功率光源模块等的生产制造和部分关键生产用第三代半导体材料器件设备的设计、改造。

据介绍，西安天和通讯科技有限公司旗下众拓光电科技有限公司是一家拥有国际领先技术的硅基第三代半导体材料及器件研发、生产与销售的高新技术企业，拥有第三代半导体全套研发与生产技术。天和通讯•众拓光电第三代半导体（徐州）产业基地项目的实施，将实现第三代半导体材料与器件大规模量产，带动产业链超过500亿元。特别是大功率LED芯片规模将达到全球第二位，将为徐州构建第三代半导体全产业链、打造全国集成电路及ICT产业新高地提供强力支撑。按照众拓的发展规划，未来的研发、生产基地将向徐州基地倾斜，项目全部建成后，徐州经开区也将成为国内最大的第三代半导材料及器件生产研发基地之一。

扬子晚报/紫牛新闻记者 马志亚

编辑 : 盛慧梅